Для цитирования:

Дарзнек С.А., Митюхляев В.Б., Тодуа П.А., Филиппов М.Н. Электронно-зондовый рентгеноспектральный анализ нанопленок при наклонном падении пучка электронов. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2017;83(9):5-9.

For citation:

Darznek S.A., Mityukhlyaev V.B., Todua P.A., Filippov M.N. Electron Probe X-Ray Analysis of Nano-Films at Off-Normal Incidence of the Electron Beam. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2017;83(9):5-9. (In Russ.)