Применение метода атомно-эмиссионной спектрометрии с тлеющим разрядом для количественного послойного анализа стали 12Х18Н10Т после технологического воздействия потоков аргоновой плазмы

В работе изучены свойства поверхностного слоя стали 12Х18Н10Т, сформированного при технологическом воздействии потоков аргоновой плазмы. С помощью методов атомно-эмиссионной спектрометрии с тлеющим разрядом, рентгеновского микроанализа и Оже-спектроскопии показано, что воздействие плазменных потоков способствует перераспределению элементного состава сплава в поверхностном слое, особенно в наноразмерном поверхностном диапазоне.

surface layer, atomic emission spectrometry, x-ray microanalysis, technological impact, hardness, layer-by-layer chemical analysis, Auger electron spectroscopy, поверхностный слой, атомно-эмиссионная спектрометрия, рентгеновский микроанализ, технологические воздействия, твердость, послойный химический анализ, Оже-электронная спектроскопия

1. Дальский А. М. Технологическое обеспечение надежности высокоточных деталей машин. - М.: Машиностроение, 1975. - 225 с.

2. Калин Б. А., Якушин В. Л., Польский В. И. и др. Упрочнение поверхности и повышение износостойкости металлических материалов при обработке потоками высокотемпературной импульсной плазмы / Физика и химия обработки материалов. 2010. №2. С.21 - 27.

3. Берлин Е. В., Коваль H. H., Сейдман Л. А. Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей. - М.: Техносфера, 2012. -464 с.

4. Ящерицин П. И., Рыжов Э. В., Аверченко В. И. Технологическая наследственность в машиностроении. - Минск: Наука и техника, 1977.

5. Вейко В. П., Смирнов В. H., Чирков А. М., Шахно Е. А. Лазерная очистка в машиностроении и приборостроении. - СПб.: НИУ ИТМО, 2013. - 103 с.

6. Ильин А. А., Плихунов В. В., Петров Л. М. и др. Очистка и активация поверхности изделий из конструкционных металлических материалов в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки / Технология легких сплавов. 2009. № 2. С. 111 - 117.

7. Ильин А. А., Плихунов В. В., Петров Л. М. и др. Особенности подготовки поверхности титановых сплавов при вакуумной ионноплазменной обработке / Авиационная промышленность. 2006. № 4. С. 23 - 26.

8. Петров Л. М., Плихунов В. В. Реакционная способность поверхностного слоя конструкционных металлических материалов на этапе ионного травления при ВИП обработке / Авиационная промышленность. 2012. № 2.С. 9 - 13.

9. Плихунов В. В., Петров Л. М. Структурные изменения поверхностного слоя конструкционных материалов в процессе вакуумной ионно-плазменной обработки / Авиационная промышленность. 2011. № 3. С. 3 - 6.

10. Петров Л. М., Бецофен С. Я., Спектор В. С. и др. Вакуумная ионно-плазменная обработка нержавеющих сталей / Технология легких сплавов. 2007. № 3. С. 113- 118.

11. Oliveira R. M., Fernandes B., Carreri F. C. Surface modification of NiTi by plasma based ion implantation for application in harsh environments / Appl. Surf. Sci. 2012. Vol. 263. P. 763 - 768.

12. Remnev A. G., Uemura K., Shalnov, et al. Electron Beam and Ion-Plasma Treatment of Pain-Less Syringe Needle / Proc. 10 Int. Conf. on Modification of Materials with Particle Beams and Plasma Flows, Sept. 19-24,2010. - Tomsk, 2010.P.278-281.

13. Плихунов В. В., Петров Л. М., Иванчук С. Б. и др. Оборудование, технологии и методы контроля для осуществления комплексного подхода к формированию многофункциональных покрытий и модифицированных слоев методом вакуумной ионно-плазменной обработки / Сб. докладов IX научной конференции по гидроавиации «Гидро-авиасалон-2010», 5-6 сентября 2010 г., Геленджик, Россия. С. 188 - 193.

14. Borisov D. P., Koval N. N., Korotaev A. D., et al. Vacuum-plasma technologies for high-quality surface-treatment applications / Изв. вузов. Физика. 2012. № 12/2. С. 29 - 33.

15. Плихунов В. В., Петров Л. М., Иванчук С. Б. и др. Оценка структурного состояния поверхности титановых сплавов по изменению величины поверхностного потенциала / Международная конференция «Ti-2009 в СНГ», 17 - 20 мая 2009 г., Одесса. С. 348 - 352.

16. Ильин А. А., Плихунов В. В., Петров Л. М. Формирование энергетического состояния поверхности конструкционных материалов при вакуумной ионно-плазменной обработке / Авиационная промышленность. 2011. № 2.С. 7 - 11.