Для цитирования:

Концевой Ю.А., Кондаков М.Н., Петрова И.Г. Алгоритм расчета толщины тонких металлических пленок. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016;82(12):41-42.

For citation:

Kontsevoy Yu.A., Kondakov M.N., Petrova I.G. Ellipsometric Determination the Thickness of Thin Metal Films. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2016;82(12):41-42. (In Russ.)