Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами рентгеновской спектроскопии и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой
Аннотация
Предложен подход для исследования состава синтезированных тонких пленок на основе цинка, допированных In и Ga, с применением методов локального рентгеноспектрального анализа (ЛРСА) и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой (ИСП-МС). Установлена зависимость содержания и распределения добавок в образце от условий синтеза на вращающихся подложках. Результаты определения доминирующих примесей методом ИСП-МС в растворах пленок использованы для аттестации результатов, полученных методом ЛРСА без пробоподготовки. Показано, что определение допирующих примесей с содержанием менее 1 % ат. возможно только методом ИСП-МС.
Об авторах
Д. Г. Филатова
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Россия
Россия
Н. А. Воробьева
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Россия
Россия
М. Н. Румянцева
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Россия
Россия
В. Б. Барановская
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия
Россия
А. Е. Баранчиков
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия
Россия
В. К. Иванов
Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН
Россия
Россия
А. М. Гаськов
Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
Россия
Россия
Список литературы
1. Ellmer K. Transparent Conductive Zinc Oxide and Its Derivatives / Handbook of transparent conductors (Eds. D. S. Ginley, H. Hosono, D. C. Paine) - New York: Springer, 2010. P. 193 - 263.
2. Özgür Ü., Alivov Ya. I., Liu C., et al. A comprehensive review of ZnO materials and devices / J. Appl. Phys. 2005. Vol. 98 P. 103.
3. Vorobyeva N. A., Rumyantseva M. N., Vasiliev R. B., et al. Doping effects on electrical and optical properties of spin-coated ZnO thin films / Vacuum. 2015. Vol. 114. P. 198-204.
4. Filatova D. G., Alov N. V., Vorobyeva N. A., et al. Quantification of modifiers in advanced materials based on zinc oxide by total reflection X-ray fluorescence and inductively coupled plasma mass spectrometry / Spectrochim. Acta. Part B: Atomic Spectroscopy. 2016. Vol. 118. P. 62 - 65.
5. Бриггс Д., Сих М. П. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. - М.: Мир, 1987. - 600 с.
6. Казенас Е. К., Цветков Ю. В. Испарение оксидов. - М.: Наука, 1997. -543 с.
7. Wang Z., Huang B., Dai Y., et al. Photocatalytic ZnO/In2O3 Heteronanostructures Synthesized by a Coprecipitation Method / J. Phys. Chem. C. 2009. Vol. 113. P. 4612 - 4617.
8. Wulfsberg G. Principles of Descriptive Inorganic Chemistry. - Sausalito: University Science Books, 1991. - 461 p.
Рецензия
Для цитирования:
Филатова Д.Г., Воробьева Н.А., Румянцева М.Н., Барановская В.Б., Баранчиков А.Е., Иванов В.К., Гаськов А.М. Синтез тонких пленок на основе ZnO, допированных Ga, In, и определение их состава методами рентгеновской спектроскопии и масс-спектрометрии с индуктивно-связанной плазмой. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016;82(11):17-20.
For citation:
Filatova D.G., Vorob’Eva N.A., Rumyantseva M.N., Baranovskaya V.B., Baranchikov A.E., Ivanov V.K., Gas’Kov A.M. Synthesis of ZnO-Based Thin Films Doped with Ga/In and Determination of Their Structure Using X-Ray Spectroscopy and Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2016;82(11):17-20. (In Russ.)
Просмотров:
344
Послать статью по эл. почте 