Измерение диэлектрической проницаемости диоксида кремния при нагреве в высокотемпературном объемном волноводном резонаторе

Для повышения точности определения диэлектрической проницаемости материала в высокотемпературном объемном резонаторе с учетом влияния неоднородного распределения температуры использовали теплофизическое моделирование температурных полей. Представлены экспериментальные результаты измерения температурной зависимости диэлектрической проницаемости є(Т) твердых образцов диоксида кремния (до 1668 °С) на сверхвысоких частотах. Показано, что изменение є(Т) во всем температурном диапазоне составило не более ±2 % от начальной величины.

superhigh frequency, dielectric properties, measurement of the dielectric permeability, waveguide resonator, high-temperature heating, silicon dioxide, сверхвысокая частота, диэлектрические свойства, измерение диэлектрической проницаемости, волноводный резонатор, высокотемпературный нагрев, диоксид кремния

1. Крылов В. П. Расчет диэлектрической проницаемости на СВЧ при высокотемпературном нагреве в объемном резонаторе / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2016. Т. 82. № 7. С. 36 - 39.

2. Крылов В. П., Скрюченков Л. М. Резонаторная ячейка для измерения температурных зависимостей диэлектрической проницаемости на сверхвысоких частотах до 1200 °С / Приборы и техника эксперимента. 1996. № 2. С. 81 - 82.

3. Полонский Ю. А., Корчагин К. Ф., Миловидова Т. В. Диэлектрические свойства кварцевого стекла в диапазоне сверхвысоких частот в интервале температур 20 - 1800 °С / Труды ВИО. - Л.: ВИО, 1973. С. 93- 106.

4. Von Amrhein Eva-Maria. Das dielektrische Verhalten binarer Oxydglaser im Mikroweellengebiet zwischen - 100 und 900 °С / Glastechnische Berichte. 1963. N 11. P. 425 - 444.

5. Литовченко А. В., Бреховских С. М., Демьянов В. В. Диэлектрические свойства оксидов кремния, алюминия и нитрида бора при нагревании до 2300 К / Неорганические материалы. 1983. Т. 19. № 9. С. 1489 - 1491.

6. Батура В. Г., Гладышев Г. И., Дударенко В. С. и др. Комплект аппаратуры «Кварц» для измерения параметров диэлектриков / Электронная промышленность. 1973. № 8. С. 8 - 9.

7. Крылов В. П. Измерение диэлектрических свойств диоксида кремния на частоте 10 ГГц при нагреве до 1200 °С в цилиндрическом волноводном резонаторе / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2007. Т. 73. № 9. С. 47 - 49.

8. Ho W. W. High temperature millimeter wave dielectric characterization of radome materials / SPIE. 1982. Vol. 362. P. 190 - 195.

9. Литовченко А. В., Игнатенко Г. К. Некоторые аспекты метрологического обеспечения измерения диэлектрических свойств материалов на сверхвысокой частоте в интервале температур 20 - 1200 °С / Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2010. Т. 76. № 8. С. 66 - 69.

10. ГОСТ 15130-86. Стекло кварцевое оптическое. Общие технические условия. - М.: Изд-во стандартов, 1987.

11. Крылов В. П., Маков А. И. Проблемы измерения диэлектрических свойств материалов в высокотемпературном резонаторе / Дефектоскопия. 1991. № 7. С. 87 - 89.

12. Li E., Nie Z., Guo G., and Zhahg Q. Broadband measurements of dielectric properyies of low-loss materials at high temperatures using circular cavity method / Progr. Electromagn. Res. 2009. P. 103 - 120.

13. Varadan Vasundara V., Hollinger Richard D., Ghodgaonkar Deepak R., Vagadan Vijay K. Free-Space Broadband Measurements of High-temperature, implex Dielectric Properties at microwave Frequencies / IEEE Trans. Instr. Meas. 1991. Vol. 40. N 5.

14. Сканави Г. И. Физика диэлектриков. Область слабых полей. - М.: Технико-техническая литература, 1949. - 500 с.

15. Прянишников В. П. Система кремнезема.-Л., 1971.-61 с.