Универсальный способ пробоподготовки для микротекстурного и фазового анализа EBSD-методом

EBSD-метод (Electron Backscattered Diffraction) используют для фазового и микротекстурного анализа вещества. EBSD-детектором - приставкой к сканирующему электронному микроскопу -диагностируют тип кристаллической решетки и ее ориентацию в каждой точке образца. При этом достоверность результатов зависит от корректности пробоподготовки, которая для разных материалов требует различных методик, а в ряде случаев - дополнительного оборудования. Предложен метод подготовки образцов, характеризующийся в отличие от традиционных подходов универсальностью и быстротой. Метод использует ионный зонд двухлучевого сканирующего электронного микроскопа и позволяет работать с разными материалами однотипным образом. Главное его преимущество - можно подготовить для EBSD только выбранный участок поверхности без полировки остальной части, что принципиально в тех случаях, когда полировка всего образца невозможна по каким-либо причинам. Также высокое разрешение метода незаменимо при EBSD-анализе единичных микрообъектов (например, специфических включений или дефектов в материале, микронных зерен редких минералов в руде и др.). При других способах EBSD-пробоподготовки сохранность подобных микрообъектов после финальной полировки не гарантирована.

EBSD, sample preparation for EBSD, electron back scattered diffraction, Kikuchi pattern, focused ion beam, scanning electron microscopy, FIB, SEM, EBSD, пробоподготовка для EBSD, дифракция обратно отраженных электронов, картина дифракции, картина Кикучи, ионная колонна, двухлучевой микроскоп, сканирующий электронный микроскоп, СЭМ

1. Метод дифракции отраженных электронов в материаловедении / Под ред. А. Шварца, М. Кумара, Б. Адамса, Д. Филда. - М.: Техносфера, 2014. - 544 с.

2. Engler O., Randle V. Introduction to Texture analysis. Macrotexture, microtexture and orientation mapping. - CRC Press, 2010.

3. Giannuzzi L. A., Stevie F. A. Introduction to focused ion beams. Instrumentation, theory, techniques and Practice. - Springer, 2005.