Для цитирования:

Борисенко В.В., Захаров В.А., Захаров К.В. КОНТРОЛЬ ТОНКОСТЕННЫХ ЭКРАНОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ УСТАНОВОК ВИХРЕТОКОВЫМ МЕТОДОМ. Заводская лаборатория. Диагностика материалов. 2019;85(6):42-46. https://doi.org/10.26896/1028-6861-2019-85-6-42-46

For citation:

Borisenko V.V., Zakharov V.A., Zakharov K.V. CONTROL OF THIN-WALLED SCREENS OF EPITAXIAL INSTALLATIONS BY THE EDDY CURRENT METHOD. Industrial laboratory. Diagnostics of materials. 2019;85(6):42-46. (In Russ.) https://doi.org/10.26896/1028-6861-2019-85-6-42-46