КОНТРОЛЬ ТОНКОСТЕННЫХ ЭКРАНОВ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ УСТАНОВОК ВИХРЕТОКОВЫМ МЕТОДОМ

Представлены результаты контроля тонкостенных сварных соединений (высокотемпературных узлов эпитаксиальных установок), полученных электронно-лучевой сваркой, вихретоковым методом. Герметичность подобных деталей и узлов контролируют вакуумным и компрессионным методами течеискания, основанными на повышении концентрации тестового газа с одной стороны тестируемой поверхности и отборе его для масс-спектрометрического анализа — с другой стороны. Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели в настоящее время широко распространены в аэрокосмической, электронной и химической отраслях промышленности, в приборостроении и научных исследованиях. Вихретоковый метод позволяет использовать данный подход для своевременного обнаружения дефектов и предотвращения риска аварийного износа тонкостенных элементов и деталей аэрокосмического и нефтегазохимического оборудования, а также обеспечивает высокую скорость сканирования. Исследовали сварные соединения танталовых экранов толщиной 0,2 и 0,5 мм с помощью дефектоскопа ВЕКТОР-60Д. Прибор дает возможность использовать накладные или проходные вихретоковые дифференциальные, тангенциальные и абсолютные преобразователи, работающие на частотах от 10 Гц до 20 МГц, а также различные динамические преобразователи. Он предназначен для контроля металлопродукции, углепластиков и композитов на наличие дефектов (поверхностных и подповерхностных трещин, нарушений сплошности и однородности материала). Отображение сигнала на экране дефектоскопа получали как в амплитудно-временной, так и комплексной плоскостях. Использовали датчики ПВДТ-1000-2, ПВД-200-2,3 и VP160A45, с помощью которых за один проход вдоль сварного соединения можно обнаруживать дефекты по всей ширине шва и околошовной зоны. Выявили дефект сварного соединения танталового экрана — неполное проплавление (непровар в корне сварного шва). Заключили, что вихретоковый дефектоскоп ВЕКТОР-60Д можно с успехом применять для контроля дефектов тонкостенных сварных соединений.

1. Макушин М. В. Современное состояние и перспективы раз-вития рынка эпитаксиальных пластин / Зарубежная электронная техника. 2001. Вып. 4. С. 53 - 59.

2. Акулов А. И. Справочник по сварке. Т. 2. — М.: Машиностроение, 1978. — 462 с.

3. Forster F., Sturnm W. Application of Magnetic and Electro-magnetic Nondestructive Test Methods for Measuring Physical and Technological Material Values / Materials Evalution. 1975. N 1. P 5 - 16.

4. Неразрушающий контроль. Справочник. В 8 т. / Под общ. ред. В. В. Клюева. — Изд. 2-е, перераб. и испр. — М.: Машиностроение, 2006.

5. ГОСТ 26697-85. Контроль неразрушающий. Дефектоскопы магнитные и вихретоковые. Общие технические требования. — М.: Изд-во стандартов, 2004. — 10 с.

6. ГОСТ 24289-80. Контроль неразрушающий вихретоковый. Термины и определения. — М.: Изд-во стандартов, 2004. — 9 с.

7. Клюев В. В., Федосенко К. К., Мужицкий В. Ф. Вихретоковый контроль: современное состояние и перспективы развития / В мире НК. 2007. № 2(36). С. 4 - 11.

8. Шубочкин А. Е., Ефимов А. Г. Современные тенденции развития вихретоковой дефектоскопии и дефектометрии / Контроль. Диагностика. 2014. № 3. С. 68 - 73.

9. ГОСТ Р ИСО 6520-1-2012. Сварка и родственные процессы. Классификация дефектов геометрии и сплошности в металлических материалах. Ч. 1. Сварка плавлением. — М.: Стандартинформ, 2014.

10. ГОСТ Р 57550-2017. Технологические комплексы для электронно-лучевой обработки в вакууме. Технические требования. — М.: Стандартинформ, 2017.

11. ГОСТ ISO 13919-1-2017. Сварка. Соединения, полученные электронно-лучевой и лазерной сваркой. Руководство по оценке уровня качества для дефектов. Ч. 1. Сталь. — М.: Стандартинформ, 2017.

12. ГОСТ ИСО 17662-2017. Сварка. Калибровка, верификация и валидация оборудования, применяемого для сварки, включая вспомогательные операции. — М.: Стандартинформ, 2017.

13. ГОСТ ИСО 17662-2017. Сварка. Общие допуски на сварные конструкции. Линейные и угловые размеры. Форма и расположение. — М.: Стандартинформ, 2017.

14. ГОСТ Р ИСО 17637-2014. Контроль неразрушающий. Визуальный контроль соединений, выполненных сваркой плавлением. — М.: Стандартинформ, 2015.